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工研院開發出「半導體晶圓3D形貌檢測技術」,打造國內首台陣列式干涉掃描模組,檢測效率提升至傳統設備的4倍,量測精度可達10nm,使先進封裝檢測更快、更準,協助國內業者開發自主先進封裝檢測設備,並應用於CoPoS等製程驗證。
工研院開發出「半導體晶圓3D形貌檢測技術」,打造國內首台陣列式干涉掃描模組,檢測效率提升至傳統設備的4倍,量測精度可達10nm,使先進封裝檢測更快、更準,協助國內業者開發自主先進封裝檢測設備,並應用於CoPoS等製程驗證。

產業中心/綜合報導

SEMICON Taiwan 2026 盛大登場,經濟部產業技術司主題館發表 29 項半導體研發成果,聚焦 CoPoS 先進封裝、AI 資料中心 800V 高壓供電與量子科技,展現臺灣供應鏈自主研發能量與國際合作布局。

工研院攜手山太士、永光化學、志聖及晶彩科技等業者,將基板翹曲控制提升 10 倍、首創 1.5 µm 晶片位移補正技術,大幅提高封裝良率與線路密度,已成功打入全球晶圓代工龍頭供應鏈。開發「半導體晶圓 3D 形貌檢測技術」,檢測效率達傳統設備 4 倍並技轉佳凌與和全豐;首創「FOUP 式 EUV 劑量量測系統」提升 8 倍檢測效率;同時研發「交叉流場 ALD 設備」,協助記憶體大廠提升關鍵設備國產化率至 75%。

因應 AI 機櫃轉向 800VDC 架構,工研院整合碳化矽(SiC)與氮化鎵(GaN)技術,成功技轉同欣電、尼克森,並串聯鴻揚、茂矽與群創光電,建立國產化車用、固態變壓器及高效率電源供應鏈。經濟部「量子產業技術推動辦公室」與 SEMI 合作,宣布與美國 SEEQC、NantOptiFab 及日本富士通(Fujitsu)簽署合作意向書,結合國產半導體與精密製造優勢,推動量子晶片與系統共同開發,協助台廠切入全球量子科技供應鏈。

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